H. Grünwald, DE 37 33 135 (1.10.1987): "Vorrichtung zum Beschichten oder Ätzen mittels eines Plasmas".
Schriften Kategorie:
‘Gesamtes Schriftverzeichnis’
16.
17.
I. Hussla, G. Castrischer, H. Grünwald, G. Lorenz, T.-M.Pang und H. Ramisch, Vacuum 38, 877-881 (1988): "Multi-chamber Dry Etching of Aluminium".
19.
H. Grünwald, H. Ramisch, A. Pawlakowitsch, DE 39 14 065 (28.4.1989): „Vorrichtung zum Plasma-Ätzen".
20.
H. Grünwald, Elek. Tech., Elek. Anw., Elekt. Market. (eee).8., 14 (1989): "Ätzverfahren im Wandel".
21.
K. Greifeneder, K. Truckenmüller, H. Grünwald und E.-M. Rach, DE 39 22 599 (10.7.1989): „Nähgarn, sowie ein Verfahren zur Herstellung eines Nähgarnes“.
22.
H. Grünwald, E.-M. Rach, K. Greifeneder und K. Truckenmüller, DE 39 22 601 (10.7.1989): "Verfahren und Vorrichtung zur Niedertemperatur-Plasmabehandlung von textilen Substraten".
23.
K. Greifeneder, K. Truckenmüller, H. Grünwald und E.-M. Rach, DE 39 22 602 (10.7.1989): „Verfahren zur Bearbeitung eines Garnes“.
24.
H. Grünwald und H. Ramisch, DE 39 35 189 (23.10.1989): "Verfahren und Vorrichtung zur Behandlung von Werkstücken durch Reaktives Ionenätzen".
25.
H. Suhr, J. Bald, L. Deutschmann, A. Etspüler, E. Feurer, H. Grünwald, C. Haag, H. Holzschuh, C. Oehr, S. Reich, R. Schmid, I. Traus, B. Waimer, A. Weber und H. Wendel, J. Phys. Colloq., C5, 739-746 (1989): "Plasma-CVD Using Organometallic Compounds".
26.
I.Hussla, P. Banks, P. Baumann, G. Castrischer, H. Grünwald, G. Lorenz und H. Ramisch, Proc. Plasma Surf. Eng. 1st, Garmisch-Partenkirchen (Hrsg. E. Broszeit), 495-502 (1989): "Multistep RIE of Aluminium and its Alloys".
27.
E. Witkowski, H. Grünwald und G. Blersch, DE 39 38 708 (17.11.1989): "Verfahren zur Behandlung eines Fotoleiters".
28.
H. Grünwald, H. Ramisch und I. Hussla, OE 39 40 820 (11.12.1989): "Verfahren zur Behandlung von Werkstücken durch reaktives Ionenätzen".
29.
H. Grünwald, W. Maaß, M. Geisler, DE 40 10 672 (3.4.1990): „Verfahren und Vorrichtung zur Behandlung von Werkstücken durch reaktives Ionenätzen".
30.
H. Grünwald, H.S. Munro und T. Wilhelm, Proc. Int. Conf. Synth. Met. (ISCM 90), Tübingen, 1990 in: Synth. Metals, 41-43, 1457-1469 (1991): "Thin Conductive Films Made by Plasma Polymerization of 2-Chloroacrylonitrile in the Presence of lodine".