H. Grünwald, H. Ramisch und I. Hussla, OE 39 40 820 (11.12.1989): "Verfahren zur Behandlung von Werkstücken durch reaktives Ionenätzen".
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H. Grünwald, H. Ramisch und I. Hussla, OE 39 40 820 (11.12.1989): "Verfahren zur Behandlung von Werkstücken durch reaktives Ionenätzen".