H. Suhr, J. Bald, L. Deutschmann, A. Etspüler, E. Feurer, H. Grünwald, C. Haag, H. Holzschuh, C. Oehr, S. Reich, R. Schmid, I. Traus, B. Waimer, A. Weber und H. Wendel, J. Phys. Colloq., C5, 739-746 (1989): "Plasma-CVD Using Organometallic Compounds".
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